1、前言

        在半導體配件能力元器和整合電源電路工序中，村料、晶圓、處理芯片的測評是必不得少的部門。跟隨半導體配件能力元器測評能力的壯大，數值源表SMU聯系檢測器臺的裝置組合成都被大量app于村料/細小元器的電學安全性能特點認可中。數值源表SMU擁有源測的功能，是可以導致交流電-額定電壓(I-V)安全性能特點申請這類卡種曲線提額，是半導體配件能力元器村料、元器電安全性能定量分析衡量的核心理念；檢測器臺有自功、半系統自己和全系統自己這幾種，利用測評還要抉擇生活設施的新產品就可。在選購時還要要留意檢測器的不銹鋼面料或針尖的直經與的形狀，檢測器不銹鋼面料不是一樣的，其電阻值又不是一樣的；因此，檢測器尖摩擦和環境破壞也會對測評畢竟導致影晌。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、測試探針、DUT銜接表示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺與源表的接連種類有這兩種，一款食用的同中線接連，另外一只款食用的三同中線接連。當在測量小功率量(nA、pA)時，應食用的三同軸轉移傳感器和三同中線纜。在和接入源表保護性好上方軟件測試英文電路原理中，伴隨三同軸的保護性好層與內芯彼此是等電勢差，不能有漏功率量產生，要增長小功率量軟件測試英文gps精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣層；3內屏幕了層；4中心層；5外屏幕了層；6外保護套）

圖：三同中線纜等效電線圖

  上圖提示為三同軸網纜等效三極管圖，導出中低端HI和Guard范圍內的電極電位差近乎為0，進而驅除電纜線身體的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S產品系列交流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸相連器與傳統兩芯相連器有所作為不一樣，可的同時接駁數據信息、地線和屏避層，屏避體驗好。和多芯電纜線好于，三同軸電纜線型式簡略，靠得住高；和兩芯同軸電纜線好于，有更好的屏避效能和小數據信息的發送實力。三同軸電纜線的相連具體方法運用了GUARD數據信息，具有了屏避的作用，更極為有利的于小數據信息的預估。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

安全使用杜邦線轉BNC母頭完成銜接；

- 三同軸連接 -

施用三同軸銜接信息模塊進行銜接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

會直接實用三同定位軸線來鏈接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將普遍的三同軸拆換為低壓專業化三同中軸線；直流電變壓器三同軸金屬線接頭的擊穿電壓性業務能力較好，普賽斯選擇的直流電變壓器三同軸金屬線接頭能夠擊穿電壓性3500V。

圖：左-高壓低壓三同軸、右-一般的三同軸

HCPL 100大電流源表

大感應電壓電流大小檢測時，單根探頭限度的感應電壓電流大小局限，感應電壓電流大小過大也許會造成燒針跡象，影響力考試沒想到，所以需求實用多探頭并接。

圖：多探頭電容串聯提醒

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面參比電極連接方式舉手

圖：異面金屬電極接連提醒

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。